| 专利名称 |
【2021109079841】一种远程等离子源真空腔体 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980010647 |
许可期限 |
2026-12-31 |
专利权人 |
上海财盈半导体股份有限公司 |
| 生效日期 |
2025-10-21 |
许可费方式 |
入门费+提成（提成比例） |
支付标准 |
采用入门费和提成费相结合的方式，其中入门费为500000元，提成费按当年度合同产品净销售额的5%提取。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：宰艳娜 邮编：201108 地址：上海市闵行区都会路1835号喜讯工业园11幢2楼 电子邮箱：yanna.zai@hcaiwin.com 电话：18001380776 |
| 访问次数 |
5 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
H01J 37/32 |
| 备 注 |
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