| 专利名称 |
【2021102229867】真空腔室及其压力控制方法以及半导体处理设备 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980007416 |
许可期限 |
2025-12-31 |
专利权人 |
楚赟精工科技（上海）有限公司 |
| 生效日期 |
2025-09-05 |
许可费方式 |
入门费+提成（提成比例） |
支付标准 |
采用入门费和提成费相结合的方式，其中入门费为451800元，提成费按当年度合同产品净销售额的1.92%提取。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：周梦洋 邮编：201210 地址：上海市浦东新区三灶路500号 电子邮箱：mengyang.zhou@lanhetek.com 电话：13817077515 |
| 访问次数 |
5 |
专利权人类型 |
|
IPC分类号 |
H01L 21/67 |
| 备 注 |
|
