| 专利名称 |
【2021111381346】渐开线激光辅助的晶圆切割加工方法、系统及应力检测方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2024110001265 |
许可期限 |
2034-12-31 |
专利权人 |
北京大学 |
| 生效日期 |
2024-12-24 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式,在合同生效后15日内一次性全额支付所有使用费100000元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名:王磊 邮编:100080 地址:北京市海淀区海淀路52号北京大学王克桢楼14层 电子邮箱:wanglei31@pku.edu.cn 电话:01062768127 |
| 访问次数 |
262 |
专利权人类型 |
大专院校 |
IPC分类号 |
B23K 26/38 |
| 备 注 |
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