| 专利名称 |
【2020107832682】在单台抛光机上实现MEMS用大尺寸硅片三步抛光的工艺 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2024980013259 |
许可期限 |
2025-06-30 |
专利权人 |
中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 生效日期 |
2024-12-27 |
许可费方式 |
入门费+提成（提成比例） |
支付标准 |
采用入门费和提成费相结合的方式，其中入门费为2000元，提成费按当年度合同产品净销售额的20%提取。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：付旸 邮编：300000 地址：天津市河西区洞庭路 26 号 电话：13512000965 |
| 访问次数 |
305 |
专利权人类型 |
科研机构 |
IPC分类号 |
B24B 1/00 |
| 备 注 |
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