2009100766433：刻蚀方法

专利名称	【2009100766433】刻蚀方法					响应
声明编号	XK2024980014809	许可期限	2025-12-31	专利权人	北京北方华创微电子装备有限公司
生效日期	2024-12-17	许可费方式	一次付清	支付标准	采用一次总付的方式，在合同生效后5日内一次性全额支付所有使用费750000元。
联系方式	联系人姓名：唐雨葳邮编：100176 地址：北京市经济技术开发区文昌大道8号北方华创电子邮箱：tangyuwei@naura.com 电话：18702272890
访问次数	248	专利权人类型		IPC分类号	H01L 21/00
备注