2018113471909：一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备及工艺

专利名称	【2018113471909】一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备及工艺					响应
声明编号	XK2024980013052	许可期限	2025-11-14	专利权人	浙江师范大学
生效日期	2024-12-10	许可费方式	无偿	支付标准	0元
联系方式	联系人姓名：徐奕邮编：321000 地址：浙江省金华市婺城区迎宾大道688号浙江师范大学电子邮箱：596754104@qq.com 电话：15068026560
访问次数	230	专利权人类型	大专院校	IPC分类号	H01L 21/67
备注