2024110493352：一种半导体大宗气体的颗粒检测装置及方法

专利名称	【2024110493352】一种半导体大宗气体的颗粒检测装置及方法					响应
声明编号	XK2025980009311	许可期限	2025-12-31	专利权人	宏芯气体（上海）有限公司
生效日期	2025-09-30	许可费方式	无偿	支付标准	0元
联系方式	联系人姓名：张寅莹邮编：201210 地址：上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区中科路1699号第25层(实际楼层第21层)03单元电子邮箱：yinying.zhang@prochipgroup.cn 电话：13072159939
访问次数	4	专利权人类型		IPC分类号	G01N 15/0205
备注