2025108509427：一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备

专利名称	【2025108509427】一种气体混合系统、方法以及半导体工艺设备					响应
声明编号	XK2025980009180	许可期限	2026-06-01	专利权人	上海良薇机电工程有限公司
生效日期	2025-10-10	许可费方式	无偿	支付标准	0元
联系方式	联系人姓名：车超平邮编：200051 地址：上海市长宁区中山西路1065号B座2202室电子邮箱：aden@bestfameip.com 电话：13917718729
访问次数	6	专利权人类型		IPC分类号	B01F 23/10
备注