| 专利名称 |
【2023103184716】一种光干涉型微加工晶圆表面形貌测量装置及测量方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2026980000164 |
许可期限 |
2043-03-27 |
专利权人 |
北方工业大学 |
| 生效日期 |
2026-02-03 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后60日内一次性全额支付所有使用费607400元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：张萌颖 邮编：100144 地址：北京市石景山区晋元庄路5号 电话：18810292699 |
| 访问次数 |
11 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
G01B 11/24 |
| 备 注 |
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