| 专利名称 |
【2018103019718】用于评估互连结构的特性的方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2024980014684 |
许可期限 |
2026-01-30 |
专利权人 |
北方工业大学 |
| 生效日期 |
2024-12-24 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后30日内一次性全额支付所有使用费530000元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：闫江 邮编：100144 地址：北京市石景山区晋元庄路5号 电话：18611646548 |
| 访问次数 |
263 |
专利权人类型 |
大专院校 |
IPC分类号 |
H01L 21/67 |
| 备 注 |
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