| 专利名称 |
【2017106120231】电子束成像模块、电子束检测设备及其图像采集方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980010297 |
许可期限 |
2037-07-23 |
专利权人 |
东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司 |
| 生效日期 |
2025-10-17 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后5日内一次性全额支付所有使用费7752000元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：林慧 邮编：100176 地址：北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼 电子邮箱：hui.lin@dfjy-jx.com 电话：18611256980 |
| 访问次数 |
6 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
G01N 23/2206 |
| 备 注 |
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