| 专利名称 |
【2022100696474】一种用于光刻机的EUV辐射源产生装置 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2024980012143 |
许可期限 |
2034-01-20 |
专利权人 |
张玥 |
| 生效日期 |
2024-11-26 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后10日内一次性全额支付所有使用费159400元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：张玥 邮编：110122 地址：辽宁省沈阳市沈河区南塔街18号 电子邮箱：zhangyue05202326@126.com 电话：15998218204 |
| 访问次数 |
347 |
专利权人类型 |
个人 |
IPC分类号 |
G03F 7/20 |
| 备 注 |
|
