| 专利名称 |
【2021108196867】一种激光辅助原位巨量转移方法及系统 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2024980004209 |
许可期限 |
2026-07-30 |
专利权人 |
清华大学 |
| 生效日期 |
2024-08-23 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后15日内一次性全额支付所有使用费300000元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：魏辛欣 邮编：100084 地址：北京市海淀区华业大厦2206-1 电话：010-62792574 |
| 访问次数 |
85 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
H01L 21/67 |
| 备 注 |
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