| 专利名称 |
【2023118275385】一种含有不同择优取向的氮化铝涂层及制备方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980012869 |
许可期限 |
2026-09-30 |
专利权人 |
华南理工大学 |
| 生效日期 |
2025-11-11 |
许可费方式 |
无偿 |
支付标准 |
0元 |
| 联系方式 |
联系人姓名：孙戈 邮编：510640 地址：广东省广州市天河区五山路381号 电子邮箱：zlswzx@scut.edu.cn 电话：020-87113501 |
| 访问次数 |
3 |
专利权人类型 |
|
IPC分类号 |
C23C 14/06 |
| 备 注 |
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| 许可情况 |
| 序号 |
备案号 |
被许可人 |
备案日期 |
许可种类 |
| 1 |
X2025980035680 |
广东钇芯微半导体技术有限公司 |
2025-11-18 |
开放许可 |
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