| 专利名称 |
【201410816270X】带氯化氢清洗功能的低压化学气相沉积设备 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980006949 |
许可期限 |
2025-12-31 |
专利权人 |
上海微世半导体有限公司 |
| 生效日期 |
2025-09-05 |
许可费方式 |
无偿 |
支付标准 |
0元 |
| 联系方式 |
联系人姓名：杭海燕 邮编：200241 地址：上海市闵行区东川路555号丙楼6212室 电子邮箱：13918597298@163.com 电话：021-57156788 |
| 访问次数 |
5 |
专利权人类型 |
|
IPC分类号 |
C23C 16/455 |
| 备 注 |
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| 许可情况 |
| 序号 |
备案号 |
被许可人 |
备案日期 |
许可种类 |
| 1 |
X2025980021258 |
晟美微(上海)电子科技有限公司 |
2025-09-08 |
开放许可 |
|
