| 专利名称 |
【2019104118293】一种基于气态源分子束外延的大失配InGaAs材料生长方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980010564 |
许可期限 |
2039-05-16 |
专利权人 |
中国科学院上海技术物理研究所 |
| 生效日期 |
2025-10-21 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后30日内一次性全额支付所有使用费100000元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：沈蓓丽 邮编：200083 地址：上海市虹口区玉田路500号 电子邮箱：shenbl@mail.sitp.ac.cn 电话：13636349245 |
| 访问次数 |
5 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
H01L 21/02 |
| 备 注 |
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