| 专利名称 |
【200510126439X】一种将硅片的中心放置在静电卡盘中心的方法 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2024980014732 |
许可期限 |
2025-12-08 |
专利权人 |
北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 生效日期 |
2024-12-17 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后5日内一次性全额支付所有使用费652500 元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：唐雨葳 邮编：100176 地址：北京市经济技术开发区文昌大道8号北方华创 电话：18702272890 |
| 访问次数 |
258 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
H01L 21/68 |
| 备 注 |
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