| 专利名称 |
【2024111548282】一种PECVD镀膜工艺及镀膜系统 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980007528 |
许可期限 |
2025-11-19 |
专利权人 |
滁州爱沃富光电科技有限公司 |
| 生效日期 |
2025-09-19 |
许可费方式 |
无偿 |
支付标准 |
0元 |
| 联系方式 |
联系人姓名：汪凡 邮编：239000 地址：安徽省滁州市中新苏滁高新技术产业开发区子美路65号 电子邮箱：pengshiyun@aofiber.com 电话：18110761232 |
| 访问次数 |
4 |
专利权人类型 |
|
IPC分类号 |
C23C 16/50 |
| 备 注 |
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| 许可情况 |
| 序号 |
备案号 |
被许可人 |
备案日期 |
许可种类 |
| 1 |
X2025980024805 |
无锡爱沃富光电科技有限公司 |
2025-09-29 |
开放许可 |
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