| 专利名称 |
【2022108071480】EUV光刻方法及EUV光刻设备 |
响应 |
| 声明编号 |
XK2025980009757 |
许可期限 |
2026-09-01 |
专利权人 |
上海传芯半导体有限公司 |
| 生效日期 |
2025-10-10 |
许可费方式 |
一次付清 |
支付标准 |
采用一次总付的方式，在合同生效后10日内一次性全额支付所有使用费9573000元。 |
| 联系方式 |
联系人姓名：丁建汝 邮编：201306 地址：上海市浦东新区沧海路2685号 电子邮箱：jr.ding@csemi.cn 电话：15957119926 |
| 访问次数 |
6 |
专利权人类型 |
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IPC分类号 |
G03F 7/20 |
| 备 注 |
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