2024107710749：一种混合尾气分离设备、方法及半导体工艺系统

专利名称	【2024107710749】一种混合尾气分离设备、方法及半导体工艺系统					响应
声明编号	XK2025980008992	许可期限	2026-12-31	专利权人	上海良薇机电工程有限公司
生效日期	2025-09-26	许可费方式	无偿	支付标准	0元
联系方式	联系人姓名：车超平邮编：200051 地址：上海市长宁区中山西路1065号B座2202室电子邮箱：aden@bestfameip.com 电话：13917718729
访问次数	4	专利权人类型		IPC分类号	B01D 53/75
备注