| 专利号 | 2021112933300 | 申请日 | 2021-11-03 | 专利名称 | 一种制备KTP非线性跑道型微环谐振器的方法 |
| 授权日 | 2022-06-21 | 专利权人 | 山东师范大学 | 发明人 | 陈琛;韩张华 |
| 主分类号 | G02B6/13 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种制备KTP非线性跑道型微环谐振器的方法,包括KTP晶片处理、离子注入、电子束曝光、后续处理、离子刻蚀处理及最后处理六个步骤，通过离子注入一道工序，就实现了与片上铌酸锂薄膜材料类似的薄膜状波导结构的制备，生产流程大大简化，时间缩短，成本显著降低，同时，本发明最终制备的KTP非线性微环谐振器，与现存的铌酸锂非线性微环谐振器相比，具有更高的光损伤阈值，可将非线性变频光的输出功率，由微瓦提升至毫瓦量级，并且适用于输入和输出的光信号均为脉冲激光的情形，而离子注入、电子束曝光、金属蒸发沉积镀膜、反应离子刻蚀，均为相对成熟的微纳加工技术，使得本发明具有良好的可操作性性和可重复性。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
