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专利号 2016100406103 申请日 2016-01-21 专利名称 一种双极型纳米薄膜忆阻器的制备方法
授权日 2018-02-06 专利权人 山东科技大学 发明人 郭梅;窦刚;李玉霞;孙钊;李煜;于洋
主分类号 H01L45/00 关键词 应用领域
摘要 本发明公开了一种双极型纳米薄膜忆阻器的制备方法,其运用在偏压下产生的空穴和电离氧离子为载流子,依靠空穴和电离氧离子产生量的变化实现器件电阻的变化的原理,在现有技术的基础上,从简化工艺与阻变膜纳米陶瓷材料的化学配方两方面着手:通过省略掉阻变膜陶瓷材料的预先烧结步骤、选用纳米陶瓷烧结温度更低的原料,结合采用更低的煅烧温度;并通过以Mg2+部分取代Ti4+进行B位取代,以增大Sr(Ti1‑xMgx)O3‑x分子结构的不对称性、提高内部空穴量等技术手段,简化了制备工艺、缩短了工艺流程、降低了生产能耗和制造成本,并大幅提升了忆阻器的忆阻性能。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】