| 专利号 | 202510491585X | 申请日 | 2025-04-18 | 专利名称 | 一种从碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法 |
| 授权日 | 2025-12-09 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王丽焕;李刚;徐现刚;王志丞;郁万成;陈秀芳 |
| 主分类号 | C01B32/28 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种碳化硅晶圆研磨废液中回收金刚石的方法，包括如下步骤：向碳化硅晶圆研磨废液中加入分散剂，然后进行喷雾干燥，得到固体A；将固体A加入碱液中，超声并搅拌处理设定时间，固液分离后，得到固体B；将固体B加入到强酸溶液中，超声并搅拌处理设定时间，固液分离后，得到固体C；将固体C加入至表面活性剂溶液中，加热并搅拌设定时间；最后向混合体系中加入分散剂，通过浮选除去晶片碎屑，将剩余固体干燥后得到金刚石；所述分散剂为六偏磷酸钠、三聚磷酸钠或聚丙烯醇中的一种或其组合。该方法可以有效提高金刚石磨粒的回收率和纯度。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
