| 专利号 | 2019114063244 | 申请日 | 2019-12-31 | 专利名称 | 一种底部为肖特基接触的铟铝锌氧化物二极管及其制备方法 |
| 授权日 | 2021-06-29 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 冯先进;徐伟东 |
| 主分类号 | H01L29/872 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种底部为肖特基接触的铟铝锌氧化物二极管及其制备方法，该二极管包括由下到上依次设置的SiO2/P+‑Si衬底、第一层金属电极Ti、金属电极Pd、IAZO薄膜、第二层金属电极Ti和金属电极Au；IAZO薄膜作为半导体层，IAZO薄膜与金属电极Pd之间为肖特基接触，IAZO薄膜与第二层金属电极Ti之间为欧姆接触。本发明提供一种底部为肖特基接触的铟铝锌氧化物二极管，该二极管结构可在低温下制备，制作成本低，且具有较高的电学性能，在未来的集成电路中具备了广阔的应用前景。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
