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专利号 2022111060871 申请日 2022-09-09 专利名称 一种使用暗场光学成像技术判别二维材料层数的方法
授权日 2023-10-31 专利权人 山东大学 发明人 宋爱民;张葆青;张子豪;张嘉炜;张翼飞;王一鸣
主分类号 G01N21/47 关键词 应用领域
摘要 本发明涉及一种使用暗场光学成像技术判别二维材料层数的方法,包括:光源产生的光通过暗场光学成像技术系统光路倾斜入射到所观测的二维材料样品及衬底上,部分散射光线处在暗场光学成像技术系统的光学信息接受设备的光线收集范围内;收集二维材料样品层数变化区域的散射光线,转换为光学照片;读取光学照片中每个像素的亮度值,并绘制位置‑亮度曲线;计算暗场对比度或相对对比度;通过二维材料层数与暗场对比度或相对对比度的相关关系计算二维材料层数。本发明在精度上远高于现有光学对比度法。本发明的设备成本及时间成本远低于现有的原子力显微镜、拉曼光谱、扫描电子透射显微镜方法。本发明拥有现有光学方法不具备的可调节范围及可调节精度。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新材料产业    新材料相关服务
运营方式 合作方式
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【关 闭】