| 专利号 | 2015106174181 | 申请日 | 2015-09-24 | 专利名称 | 扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置 |
| 授权日 | 2017-04-12 | 专利权人 | 山东科技大学 | 发明人 | 张山;张树青;董俊峰 |
| 主分类号 | G03F7/20 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置，将待加工元件在二维空间上的二值图分割成等大的网状像素点，计算每个像素点对应的曝光时间和曝光强度；规划扫描工作台的速度曲线；根据速度曲线和像素点的大小Dpp确定处于加速段、匀速段和减速段的像素点，并计算待加工元件的每一扫描行对应的各个像素点的坐标位置；对边界全部或部分位于加速段或减速段且曝光强度不为零的像素点对应的曝光数据进行补偿；充分利用了扫描工作台的加、减速段进行直写曝光，这样，在保证直写质量的前提下，最大限度地压缩了扫描工作台非曝光区的长度，节省了直写时间，提高了直写效率。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
