| 专利号 | 2018112546522 | 申请日 | 2018-10-26 | 专利名称 | 基于ZnO纳米棒/Si异质结的自驱动光电探测器及制备方法 |
| 授权日 | 2020-09-01 | 专利权人 | 中国石油大学(华东) | 发明人 | 凌翠翠;郭天超;祝磊;李小芳;薛庆忠;侯志栋 |
| 主分类号 | H01L31/0328 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种自驱动光电探测器，该自驱动光电探测器，由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层、Si单晶基底和金属In背电极。表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层是利用磁控溅射、水热法、氢气退火处理等方法制备的。测试结果显示，所制备薄膜器件表现出良好的自驱动光探测性能，具有性能稳定等优点。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
