| 专利号 | 2023100324828 | 申请日 | 2023-01-10 | 专利名称 | 一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用 |
| 授权日 | 2025-01-07 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 康文兵;闫正;王海花;陈欢;孔慧停 |
| 主分类号 | C08G73/10 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料及其制备方法与在光刻中的应用。本发明的具有双功能的光敏聚酰亚胺前体材料，是通过二胺与二酐聚合得到前驱体PAA聚合物，然后与具有疏水且可交联基团的化和物酯化反应得到。本发明的聚酰亚胺材料可以用于正性光刻胶和负性光刻胶，将其与不同的光敏剂、添加剂等进行混合进行涂膜、显影、曝光，得到分辨率良好的图案化聚酰亚胺薄膜。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
