| 专利号 | 2020111294574 | 申请日 | 2020-10-21 | 专利名称 | 基于涡旋光螺旋波前-空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法 |
| 授权日 | 2022-10-21 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 杨忠明;杨栋;刘兆军 |
| 主分类号 | G01B11/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光学干涉精密计量技术领域，涉及一种基于涡旋光螺旋波前‑空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法。一种基于涡旋光螺旋波前‑空间相移干涉纳米量级微位移快速测量系统，包括沿激光传输方向依次设置的He‑Ne激光器、起偏器、四分之一波片、第一分光棱镜、第二分光棱镜、位移平台、反射镜、螺旋相位板、第三分光棱镜和偏振相机；所述起偏器的偏振方向与四分之一波片光轴的夹角为45°。本发明的测量系统采用马赫‑曾德干涉仪结构，系统结构紧凑，稳定性强，测量精度高。采用空间相移干涉测量结构，可以快速同时捕获四幅相移干涉图，解调得到真实螺旋相位分布，实现微位移快速测量。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
