| 专利号 | 201810183374X | 申请日 | 2018-03-06 | 专利名称 | 基于视觉图像处理的微纳平台运动测量系统及方法 |
| 授权日 | 2019-08-27 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 卢国梁;苏高照;陈光远;闫鹏 |
| 主分类号 | G01B11/02 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了基于视觉图像处理的微纳平台运动测量系统及方法，微纳平台的上表面固定AFM探针，所述显微镜的物镜对准AFM探针，通过检测探针的位置来测量微纳平台的运动精度；所述摄像头采集AFM探针的图像，将所采集的图像上传给计算机终端，所述计算机采用基于缩小解空间的PSO优化算法对图像进行处理，得到微纳平台在X方向和Y方向的偏移量；将得到的微纳平台在X方向和Y方向的偏移量，通过串口通信从计算机终端传输给单片机，单片机将偏移量通过数字信号形式传输给微纳平台的控制系统。借助高帧率摄像机在显微镜下面拍摄平台运动画面，实时对图像处理得到平台运动的位移数据，将结果反馈到平台运动控制系统中以做出相应调节。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
