| 专利号 | 2022101610432 | 申请日 | 2022-02-22 | 专利名称 | 一种利用β相氧化镓晶体(100)面内各向异性制备高性能日盲探测器的方法 |
| 授权日 | 2023-03-24 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 辛倩;颜世琪;宋爱民 |
| 主分类号 | H01L31/18 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种利用β相氧化镓晶体(100)面内各向异性制备高性能日盲探测器的方法，包括：(1)条状β相Ga2O3晶体的加工及定向：获得β相Ga2O3晶体的(100)解理面，即bc面；再获取条状β相Ga2O3晶体；(2)对步骤(1)获取的条状β相Ga2O3晶体依次进行清洗、光刻定义电极图形、ICP刻蚀、生长电极制备得到MSM型日盲探测器。本发明器件性能实现了133A/W的超高响应度，大的外量子效率约为6.61×104％以及较短的响应时间。本发明制备的各项异性光探测器件有助于对氧化镓材料的各向异性特性进行深入理解，为制备高性能光探测器件提供指导。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
