| 专利号 | 201610808209X | 申请日 | 2016-09-07 | 专利名称 | 一种力响应性纳米量级光子晶体材料的制备方法 |
| 授权日 | 2017-12-19 | 专利权人 | 山东科技大学 | 发明人 | 王清;张睿;郑旭;马立俊;张艳菊;张星远;杜文全 |
| 主分类号 | G02B1/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种力响应性纳米量级光子晶体材料的制备方法，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，按预先设计的光子晶体结构参数，刻蚀出具有纳米量级图案的刚性模板作为填充模板，以力学性能优异的高弹性凝胶作为基体材料、粘弹性聚合物作为填充材料，通过填充模板的方式，将预先设计的光子晶体图案“高保真”地“转移”到粘弹性聚合物中，再经过旋涂、堆叠等步骤制得纳米量级的、结构可控的具有力响应性的光子晶体材料。本发明的制备方法相对于现有技术，具有工艺简单、流程短、工艺参数易于控制，模板可重复使用，产品精度等级高、质量稳定可靠，成本较低等特点。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 前沿新材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
