| 专利号 | 2020100949445 | 申请日 | 2020-02-17 | 专利名称 | 一种用于电阻法氮化铝晶体生长炉的热场及其装配方法 |
| 授权日 | 2021-09-03 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 张雷;俞娇仙;刘光霞;陈成敏;赵刚 |
| 主分类号 | C30B29/40 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于电阻法氮化铝晶体生长炉的热场及其装配方法，属于人工晶体生长技术领域。本发明包括最外层的金属筒、位于金属筒内的侧隔热外屏、侧隔热内屏、下隔热屏和中隔热屏，以及位于中隔热屏上方的上隔热屏，其中，侧隔热外屏为呈环形筒状的氧化锆保温层；金属筒由筒体和底部圆环焊接而成，底部圆环的中部通孔处设置有坩埚支架，坩埚支架上放置有坩埚，侧隔热内屏与坩埚之间悬挂有网状加热器。该热场简单、成本低，并且可以大大降低引入的杂质，从而获得具有深紫外透过率的AlN晶体。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
