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专利号 2021107402123 申请日 2021-06-30 专利名称 单、双轴磁阻磁场传感器和制作方法
授权日 2023-06-13 专利权人 山东大学 发明人 陈伟斌;冷群文;朱大鹏;颜世申
主分类号 G01R33/09 关键词 磁阻 应用领域
摘要 本发明涉及单、双轴磁阻磁场传感器和制作方法,衬底上设置有全桥电路,全桥电路包括均为长条形的两个磁阻单元Ⅰ和两个磁阻单元Ⅱ2,全桥电路分成上半部分的两个桥臂和下半部分的两个桥臂,磁阻单元Ⅰ和磁阻单元Ⅱ2平行相对,磁阻单元Ⅰ长轴方向与磁阻单元Ⅱ2的长轴方向一致;磁阻单元Ⅰ、磁阻单元Ⅱ2由磁性薄膜材料组成,磁阻单元Ⅰ和磁阻单元Ⅱ2的自旋产生层的电流流向相反。本发明后期封装更为方便,可靠性强,且封装成本低,设计具有灵活性,根据不同应用,易于设计传感器的灵敏度和测量范围。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 高端装备制造    智能制造装备产业
运营方式 合作方式
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详细说明
【关 闭】