| 专利号 | 2019100293325 | 申请日 | 2019-01-13 | 专利名称 | 一种在球面基底上实施软光刻技术的装置及其使用方法 |
| 授权日 | 2021-12-24 | 专利权人 | 鲁东大学 | 发明人 | 张登英;赵风周;张立春;张孟龙;黄玉鹏 |
| 主分类号 | G03F7/20 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在球面基底上实施软光刻技术的装置及其使用方法，涉及微细加工领域，包括：固定支架、固定悬梁、主腔体、主腔体高度调节部、气压表、充气接头。使用时，将PDMS软模板有微纳结构的一面朝外固定好，通过控制主腔体内气压的大小和主腔体的固定高度，使PDMS软模板与涂有固化胶的球面基底实现紧密接触，然后通过加热板固化胶体，待胶体固化后将球面基底与PDMS软模板分离，此时便在球面基底上制得微纳结构。本发明装置易于加工，操作方便，使用方法简单，能够满足在不同口径、不同曲率半径球面基底上实施软光刻技术的要求。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
