| 专利号 | 2019112541025 | 申请日 | 2019-12-10 | 专利名称 | 一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法 |
| 授权日 | 2022-05-31 | 专利权人 | 鲁东大学 | 发明人 | 黄玉鹏;张登英;赵风周;张立春;邢文强;李锦绣;李伟任 |
| 主分类号 | G02B5/18 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制备不同周期光栅的装置及其使用方法，涉及微细加工领域，包括：导轨底座、传动轴、承载滑块、PDMS固定盖板、限位侧板。使用时，将光栅PDMS软模板有结构的一面向上固定在装置承载部上，通过调节传动轴使承载滑块向远离固定部的方向移动，拉伸PDMS软模板，从而增大软模板上周期结构的尺寸，在PDMS软模板有结构的一面涂覆固化胶，将基底放在固化胶上，然后通过加热或曝光的方法固化胶体，待胶体固化后再将PDMS软模板剥离，此时在基底上获得所需周期的光栅结构。通过改变软模板拉伸量，可得到不同周期尺寸的光栅结构。本发明装置操作简单，使用方便，能够满足低成本、批量复制不同周期尺寸光栅的要求。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
