| 专利号 | 2019100159932 | 申请日 | 2019-01-08 | 专利名称 | 一种用于氮化铝单晶生长的籽晶粘接方法 |
| 授权日 | 2021-03-02 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 郝霄鹏;王国栋;张雷;吴拥中;邵永亮 |
| 主分类号 | C30B23/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 一种用于氮化铝单晶生长的籽晶粘接方法，包括(1)将铝酸盐粉末与无机聚合物粘结剂混合均匀，制成无机胶；(2)将无机胶均匀涂到衬底上；(3)将直径为5‑300mm，厚度为0.1‑5mm的AlN籽晶置于衬底上的无机胶上；(4)将粘接好的籽晶先在10‑80N压力下室温放置5～20小时；(5)然后将籽晶和衬底一同放入50‑300℃烘箱中加热1‑12h后，缓慢降温，最终籽晶和衬底紧密粘合。本发明无需特殊复杂工艺使大尺寸AlN籽晶牢固粘接在衬底上，不易产生空隙，且能经受2200℃以上高温，籽晶不脱落，工艺简单，成本低，在粘结籽晶上能够生长出高质量AlN单晶，适合于批量生产。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
