| 专利号 | 2024102618479 | 申请日 | 2024-03-07 | 专利名称 | 多晶复合碳化钽涂层及其制备方法 |
| 授权日 | 2025-02-07 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王丽焕;冯翔宇;徐现刚 |
| 主分类号 | C30B28/14 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种多晶复合碳化钽涂层及其制备方法，包括如下步骤：在洁净的基底上制备多孔碳化物涂层；将多孔碳化物涂层清洗、干燥后，在惰性气氛中，以氩气为载气，将无机钽盐、烷烃和氢气按摩尔比为2‑5：2‑5：1‑2混合后，进行CVI沉积，混合气体的压力为5‑100mbar，沉积温度为1000‑1800℃，沉积时间为10‑20h，即得。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
