| 专利号 | 2022101605735 | 申请日 | 2022-02-22 | 专利名称 | 一种利用β相氧化镓晶体制备负光电导日盲探测器的方法 |
| 授权日 | 2024-12-17 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 辛倩;颜世琪;宋爱民 |
| 主分类号 | H01L31/18 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种利用β相氧化镓晶体制备负光电导日盲探测器的方法，包括：(1)制备n型掺杂氧化镓衬底：通过机械剥离n型掺杂Ga2O3晶体，获得原子级平整的洁净表面，获得的氧化镓晶片；(2)依次通过清洗步骤(1)获得的氧化镓晶片、光刻定义电极图形、生长电极制备得到负光电导日盲探测器；本发明首次在氧化镓光探测器件中观测到紫外波段的负光电导现象。器件负光电导性能优异，在254nm光的照射下，器件表现出高的负响应，响应度达14.6A/W，响应速度快，对周期性开/关光开关响应稳定、可逆。氧化镓晶体的负光电导特性为其在光电器件上的应用提供了新的可能性。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
