| 专利号 | 2018101463884 | 申请日 | 2018-02-12 | 专利名称 | 一种内延生长[153]取向Ta3N5自支撑薄膜的制备方法 |
| 授权日 | 2020-04-24 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 黄柏标;李慧亮;王泽岩;张晓阳;秦晓燕;王朋;刘媛媛;张倩倩 |
| 主分类号 | C30B29/38 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种内延生长[153]取向Ta3N5自支撑薄膜的制备方法，包括如下步骤：将清洗后的[100]取向KTaO3单晶晶片放入炉内，在CCl4和NH3的混合气氛中煅烧设定时间后，制得自支撑的[153]取向Ta3N5薄膜。可以解决现有技术中Ta3N5无法制备为取向结构，以及无法获得自支撑薄膜，而抑制了钽基氮化物的应用的技术问题。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新材料产业 先进无机非金属材料 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
