| 专利号 | 2019114063263 | 申请日 | 2019-12-31 | 专利名称 | 一种基于铟铝锌氧化物的肖特基二极管及其制备方法 |
| 授权日 | 2021-06-29 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 冯先进;徐伟东 |
| 主分类号 | H01L29/24 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基于铟铝锌氧化物的肖特基二极管及其制备方法，该二极管结构包括由下到上依次设置的SiO2/P+‑Si衬底、金属电极Ti、IAZO薄膜和双层金属电极Pd，双层金属电极Pd包括自下到上依次设置的第一层金属电极Pd和第二层金属电极Pd，IAZO薄膜与金属电极Ti之间为欧姆接触，IAZO薄膜与双层金属电极Pd之间为肖特基接触。本发明首次设计了一种顶部为肖特基接触的IAZO SBD，IAZO具有很宽的禁带宽度以及广阔的带隙调制范围，有利于确保IAZO SBD器件性能的光照稳定性；该SBD具有较好的电学性能，可以在低温下制备，适合工业生产。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
