| 专利号 | 2018105588569 | 申请日 | 2018-06-01 | 专利名称 | 一种MEMS压力传感器及其制作方法 |
| 授权日 | 2019-07-30 | 专利权人 | 中国石油大学(华东) | 发明人 | 张毅;薛世峰;李琳;贾朋;叶贵根;朱秀星 |
| 主分类号 | G01L1/22 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本申请公开了一种MEMS压力传感器及其制作方法，所述传感器包括：多个应变感应区，所述应变感应区根据其磷离子注入浓度的不同，分为a、b、c三组，所述a组应变感应区包含应变感应区(101)，(102)，(103)和(104)；b组应变感应区包含应变感应区(105)，(106)，(107)和(108)；c组应变感应区包含应变感应区(109)和(110)。本发明的优点是：结构简单，具有量程大、灵敏度高、可靠性高等优点，制作方法方便，没有采用复杂的薄膜结构，只采用一种离子注入，简化了加工工艺，节省了成本。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
