| 专利号 | 2022107300228 | 申请日 | 2022-06-24 | 专利名称 | 一种柔性形变压力传感器及其制备方法 |
| 授权日 | 2024-03-12 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 王顺;韩琳;张云红;张宇 |
| 主分类号 | G01L1/22 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种柔性形变压力传感器，包括：自下而上叠层设置的第一柔性材料层、压敏层、电极层和第二柔性材料层，所述第一柔性材料层和第二柔性材料层分别包括柔性材料，所述压敏层包括具有间距的正多边形激光诱导石墨烯，所述电极层包括在基底材料上形成的电极。本发明设计制备微图案化的激光诱导石墨烯为压敏层，电子束蒸镀电极系统，采用柔性材料将电极层与压敏层集成为柔性形变压力传感器。此方法制备的压力传感器，受压时压敏层的电阻变化得益于六角密排阵列间距变化及激光诱导石墨烯自身形变，大幅提升了传感灵敏度。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
