| 专利号 | 2020106973397 | 申请日 | 2020-07-20 | 专利名称 | 一种与基底表面具有高粘附力的直立Au纳米锥的制备方法 |
| 授权日 | 2022-03-29 | 专利权人 | 烟台南山学院 | 发明人 | 李彩琼;赵俊凤;刘文文;赵志国;史丹丹;史先利;董晓燕;余鑫祥;戴菡 |
| 主分类号 | H01L31/18 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种与基底表面具有高粘附力的直立Au纳米锥的制备方法，在硅片表面腐蚀出大量纳米尺度的腐蚀孔；将Au蒸镀于硅片表面，进一步通过退火在刻蚀孔内Au‑Si界面处形成大规模的Au‑Si二元合金焊接点作为纳米尺寸的夹持端；通过机械分离，在Au箔与Si表面制备Au纳米锥。该结构显著的提升了Au纳米锥与基底的结合力，为提高SERS探测器、以及太阳能电池的器件稳定性以及使用寿命提供新的技术手段。本发明的设计与制备工艺无特殊条件要求、操作容易、设备要求简单，特别适合商业化大规模生产。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 太阳能产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
