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专利号 2023111667925 申请日 2023-09-11 专利名称 TEC热能驱动的环路热管无泵循环芯片散热装置及方法
授权日 2024-07-09 专利权人 山东大学 发明人 张井志;马宏旭;辛公明;梁路;周乃香;王鑫煜;徐锦锦;白文达;张瑞琪;曹宇
主分类号 H01L23/427 关键词 应用领域
摘要 本发明提出TEC热能驱动的环路热管无泵循环芯片散热装置及方法,涉及芯片散热技术领域。包括:储液器、蒸发器、冷凝器、歧管微通道通过管路依次连接构成的环路热管,环路热管内流通有散热工质;歧管微通道设置于芯片下方,对芯片进行散热;歧管微通道和蒸发器之间设置有半导体制冷器,半导体制冷器冷端紧贴歧管微通道的下表面,对歧管微通道散热,保持歧管微通道内散热工质的液态;半导体制冷器热端紧贴蒸发器的壳体,将蒸发器内的散热工质由液态变为气态,形成毛细力,为环路热管内散热工质的循环提供动力。本发明在歧管微通道和蒸发器之间设置了TEC,采用毛细结构作为散热循环的动力驱动装置,实现无泵条件下的工质循环,实现节能效果。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】