| 专利号 | 2019103169442 | 申请日 | 2019-04-19 | 专利名称 | 一种射流约束飞秒激光超精密加工系统及方法 |
| 授权日 | 2020-04-24 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 姚鹏;王庆伟;黄传真;朱洪涛;刘含莲;邹斌;何婉盈 |
| 主分类号 | B23P23/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种射流约束飞秒激光超精密加工系统及方法，包括B轴工作台、液槽、激光射流耦合装置、平面镜、平凸透镜、第一反射镜、第二反射镜、支架、C轴卡盘，工作时，在超精密数控机床的控制下，B轴工作台和C轴卡盘可实现绕轴转动及沿轴移动，飞秒激光经聚焦后与射流发生耦合作用并到达工件表面，同时化学溶液与工件已加工表面发生微腐蚀作用并去除表面变质层等缺陷，随后在水射流的作用下将加工及化学反应过程产生的碎屑等杂质清除，提高加工表面质量，结合C轴卡盘及B轴工作台五轴联动，从而完成表面为平面、自由曲面等任意形状工件的三维结构化微细加工，拓展飞秒激光加工工件表面的种类，实现宽范围、高效、高质量加工的目的。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 高端装备制造 智能制造装备产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
