| 专利号 | 2021107848685 | 申请日 | 2021-07-12 | 专利名称 | 发射探针及用于等离子体诊断的方法 |
| 授权日 | 2022-06-07 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 李建泉;谢新尧;张清和;邢赞扬;李延辉;郭新 |
| 主分类号 | H05H1/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种发射探针及用于等离子体诊断的方法，属于等离子体诊断技术领域，包括支架；支架的一端设有电子发射部；支架的外部设有偏置电压加载部，偏置电压加载部位于靠近电子发射部的一端；其中，使用的发射探针进行等离子体诊断时，电子发射部的一端和偏置电压加载部均连接外部偏置电压加载电路。本发明等离子体空间电位由发射探针零发射极限时的伏安特性曲线的拐点电势直接给出，测量过程简单，避免了电子发射电流对特性曲线的影响，降低了发射探针灯丝温度对等离子体的扰动影响，延长了发射探针使用寿命，提高了等离子体的电子密度以及电子能量分布函数等参数的计算准确性，保证对等离子体空间电位测量结果的准确性。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
