| 专利号 | 2022114299121 | 申请日 | 2022-11-16 | 专利名称 | 基于X波段的串联接触式射频MEMS开关及其制作方法 |
| 授权日 | 2023-03-14 | 专利权人 | 山东科技大学 | 发明人 | 宋戈;冯辉;李明月;陈达;刘一剑 |
| 主分类号 | H01H59/00 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明属于射频MEMS开关技术领域，具体公开了一种基于X波段的串联接触式射频MEMS开关及其制作方法。其中，为了解决高驱动电压与可靠性之间的矛盾，本发明设计了一种具有五段式弹簧弯曲结构的可移动电极，其等效弹簧系数较小，因而该可移动电极在保证射频性能的情况下能够有效地减小驱动电压。此外，为了抑制趋肤效应的影响，本发明优化了可移动电极的中心梁结构，在中心梁上增加了触点且合理设计了内外触点的宽度，在提升S参数性能的同时，在一定程度上抑制了趋肤效应。由于本发明射频MEMS开关是基于微带线结构的射频MEMS开关，因此与共面波导结构相比，易于集成，且制造工艺简单。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新能源产业 智能电网产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
