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专利号 2021104416711 申请日 2021-04-23 专利名称 用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统
授权日 2022-06-07 专利权人 山东大学 发明人 杜清府;王进;纪仕鑫;郭怀龙;张清和;邢赞扬;李延辉;李建泉;郭新
主分类号 H05H1/00 关键词 应用领域
摘要 本公开提供了一种用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统,包括:多个朗缪尔探针、多通道电流采集电路和处理器,各个朗缪尔探针的探测端设置在待测区域的不同位置,朗缪尔探针与电流采集电路连接,处理器与电流采集电路连接;处理器根据接收到的各个朗缪尔探针的电流信号得到等离子体参数,根据得到的等离子体参数以及各个朗缪尔探针的位置信息得到区域等离子体分布;多个并行通道的设计可以获得真正的等离子体实时分布,弥补了现有技术通过通道切换来实现多路采集的缺点,同时通过对多路数据的并行处理,得到了更准确的等离子体分布结果。
创新点
技术分类 标 签 战兴产业 新一代信息技术    电子核心产业
运营方式 合作方式
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【关 闭】