| 专利号 | 2022106521149 | 申请日 | 2022-06-10 | 专利名称 | 一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置 |
| 授权日 | 2024-05-03 | 专利权人 | 山东大学 | 发明人 | 吴疆;王立鹏;陈腾;荣学文;宋锐;李贻斌 |
| 主分类号 | H01L21/683 | 关键词 | 应用领域 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置，包括连接在振子模块顶部的弯振换能器和纵振换能器，弯振换能器和纵振换能器同圆心布置且两者处于同一高度平面。通过同圆心布置的纵振/弯振换能器形成晶圆自旋平台，通过发射纵向驻波和弯曲行波驱动晶圆悬停与旋转，实现装置对晶圆的非接触、无磨损的自旋和悬停控制，从而提高晶圆加工过程中的良品率。 | ||||
| 创新点 | |||||
| 技术分类 | 标 签 | 战兴产业 | 新一代信息技术 电子核心产业 | ||
| 运营方式 | 合作方式 | ||||
| 联系人 | 联系电话 | 电子邮箱 | |||
| 详细说明 | |||||
